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ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

  • 更新時(shí)間:2020-10-14
  • 瀏覽次數(shù):2877

ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀
ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測(cè)試,和精密機(jī)械表面粗糙度檢測(cè)的理想非接觸式檢測(cè)工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速,準(zhǔn)確的測(cè)量方案,并且外形緊湊、性價(jià)比高,能夠放在生產(chǎn)車間工作

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產(chǎn)品種類非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子,交通,冶金,航天,汽車

ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測(cè)試,和精密機(jī)械表面粗糙度檢測(cè)的理想非接觸式檢測(cè)工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速,準(zhǔn)確的測(cè)量方案,并且外形緊湊、性價(jià)比高,能夠放在生產(chǎn)車間工作,而不需要振動(dòng)隔離和特殊的隔離裝置。同時(shí)交互式的控制軟件MxTM提供了簡(jiǎn)單而精細(xì)的圖形圖像來(lái)幫助你的加工處理。如需獲取更多的信息,了解Zegage系統(tǒng)的能力、功能和價(jià)值請(qǐng)繼續(xù)往下看。

關(guān)鍵特點(diǎn)

      • 抗震性能,適合于生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測(cè)和過(guò)程控制。
      • 所有參數(shù)遵照ISO 25178標(biāo)準(zhǔn),保證計(jì)量結(jié)果的可性度。
      • 非接觸式計(jì)量技術(shù)不會(huì)引起任何待測(cè)件的損傷。
      • 計(jì)算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)。
      • 基于區(qū)域的測(cè)量,對(duì)待測(cè)件如何放置不敏感。
      • 測(cè)量無(wú)需任何耗材。

 

生產(chǎn)車間里,正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀

生產(chǎn)車間里,正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀

系統(tǒng)參數(shù):

原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置: 長(zhǎng)范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

物鏡: 無(wú)限共軛干涉物鏡:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長(zhǎng)工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表

視場(chǎng): 跟所選物鏡有關(guān)

光源: 長(zhǎng)壽命白光 LED,計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)

物鏡座: 螺紋物鏡座(標(biāo)準(zhǔn));

選件: 可快速裝卸單物鏡夾具(可選);電控或手動(dòng) 4 位物鏡塔臺(tái)(可選)。

輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

測(cè)量陣列: 1024×1024

樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時(shí)觀察

Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,以優(yōu)化工作距離

樣品臺(tái)控制: USB 控制器,人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的拇指控制按鈕,可控制速度和聚焦模式切換

安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能

樣品臺(tái): 手動(dòng),俯仰傾斜±4°; 手動(dòng)XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

計(jì)算機(jī): 高性能DELL計(jì)算機(jī), 寬屏1080P LCD,64位,Windows 7系統(tǒng)

軟件: ZeMapsTM

尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm

重量: ZeGage 主機(jī):54Kg; 工作臺(tái):37Kg

性能:

縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)

表面形貌重復(fù)性:<3nm(根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)

光學(xué)分辨率(橫向):0.52um ~9.50um,與所選物鏡有關(guān)

掃描速度: ≤ 23 um/秒

大數(shù)據(jù)點(diǎn): 1,048,576

臺(tái)階測(cè)量: 準(zhǔn)確度 ≤ 1%; 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

被測(cè)樣品特性:

材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

反射率:1-100%

環(huán)境要求:

溫度: 15-30℃

溫度變化率: <1.0°C/15分鐘

濕度: 相對(duì)濕度 5%-95%,無(wú)凝結(jié)

隔振: 不需要

振動(dòng)準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦

 

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